石墨烯生长炉(PECVD)
发布时间:2018-11-26点击:2464
石墨烯生长炉(PECVD)产品说明:
石墨烯生长炉由BLMT-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成,可以是单温区、双温区、三温区等,在真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
一:基本参数:
1:加热炉部分
2:炉膛模式开启式炉膛
3:显示模式触摸屏
4:温度1400℃
5:工作温度≤1350℃
6:升温速率建议10℃/Min Max:30℃/Min
7:预热温区长度150mm
8:主温区长度300mm
9:预热温区移动手动移动
10:主温区移动自动移动,速度可以设定
二:设备特点:
1:设备规格2000*85*1400mm(长*宽*高)
2:炉管长度2000mm
3:控温精度±1℃
4:密封方式快速法兰密封
5:温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设
6:预存曲线可预存15条温度曲线
7:超温报警有
8:过流保护有
9:断偶提示有
10:测温元件s型热电偶
11:炉膛材料氧化铝纤维
12:射频电源功率
13:信号频率13.56 MHz±0.005%
14:功率输出范围5W-500W
15:功率稳定度±0.1%
16:谐波分量≤-50dbc
17:供电电压单相交流(187V-253V)频率50/60HZ
18:整机效率>=70%
19:功率因素>=90%
20:冷却方式强制风冷
真空部分
1:工作电电压220V±10%50~60HZ
2:功率500瓦
3:抽气速率4L\s
4:进气口口径KF25
5:排气口口径KF25
6:转速1450rpm
7:噪音55dB
9:真空4X10-2Pa
气路系统
1,2,3,4气路采用DB07系列
准确度:±1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
整机系统特色
正压测量-100Kpa---100Kpa
真空测量-100Kpa
超压保护超压保护值可以设定
压力恒定恒定压力值可以设定
智能气路气路系统可以编程
气路定时通气时间可以设定
射频工作时间设定辉光放电时间可以设定,自动关机
移动速度调节移动速度可以设定
系统真空度5Pa